純度是石英玻璃的重要指標,對理化性能和使用性能影響甚大,如失透性、高溫強度、軟化點、光的傳導、熱穩(wěn)定性、化學穩(wěn)定性、耐輻射性、熒光特性等;此外, 用于半導體工業(yè)的石英玻璃,對純度的要求更為苛刻,微量的雜質(zhì)將給半導體材料的電性能和壽命帶來嚴重的影響。由于半導體材料的純度要求控制在ppb數(shù)量級以下, 因此石英玻璃則應控制在ppm數(shù)量級以適應半導體工業(yè)的需要。 B的分凝系數(shù)近于1,最難除掉,是最有害的雜質(zhì)之一,Cu、Fe、Ti等影響半導體的壽命, K、Na、Li是單晶材料產(chǎn)生微缺陷的有害雜質(zhì)。本廠為半導體工業(yè)服務已有20余年的歷史,并始終致力于去除上述有害雜質(zhì)的研制工作。本廠產(chǎn)品純度見表1。
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